型式 |
PA02 |
電源 |
AC100-240V |
電源出力 |
0~5VDC:設定信号 +15VDC:300mA -15VDC:200mA |
流量設定 |
0~5VDC 10回転ポテンションメーターにて可変(MFC制御範囲に準拠) |
流量出力 |
0~5VDC (背面端子から出力可) |
流量設定及び流量出力表示 |
スケーリングに合わせてレンジ設定可 (流量設定・流量出力を2段表示) |
外部入力設定 |
正面EXT-INT_SWにて切替 (EXT設定時:External表示) |
信号ケーブル用コネクター |
D-sub9Pinコネクター (電源側メス) |
使用環境 |
5~50℃ (精度保証範囲:15~35℃ 85%RH以下 (結露なきこと) |
外部入出力端子 |
背面端子台 (外部入力/流量出力) |
付属品 |
取扱説明書(保証書付)、ACコード、アース付き変換プラグ |
※マスフローコントローラーの流量単位「SCCM、SLM」は、0℃、1013kPa abs(1atm)校正です。
※マスフローコントローラーの流量単位「CCM、LM」は、別途ご指定が無い場合は当社標準で25℃校正です。
● MFC側D-sub9Pinメスコネクター ⇔ 制御電源側D-sub9Pinオスコネクター
● ケーブルの長さ 標準 1m(SC01)、2m(SC02)、3m(SC03)
※ 3mを超えるケーブル長は別途ご相談下さい。
※ 本ケーブルは、1000シリーズとの接続用です。
※
2000シリーズのアナログ制御用信号ケーブルは、MFC側ハーフピッチ20Pinコネクターとなりますので別途お問い合わせ下さい。