マスフローコントローラー・マスフローメーター・流量制御・流量計測／エフコン株式会社[FCON]

パイロットモジュールマスフローコントローラー

パイロットモジュールマスフローコントローラー［SmartTrakシリーズ］の特長

仕様

型式:マスフローコントローラ	C100L	C100M	C100M1	C100H	C100H1	C100H2
型式:マスフローメータ	M100L	M100M	M100M1	M100H	M100H1	M100H2
流量レンジ	10SCCM～50SLPM	20～200SLPM	201～300SLPM	100～500SLPM	501～800SLPM	801～1000SLPM
バルブタイプ	NC：ノーマルクローズ
アクチュエータ方式	ソレノイドバルブ（メーターの場合は対象外）
制御流量範囲	2～100％ F.S
応答性^*1	2sec（設定値の±2％以内）
流量精度^*2	±1.0％ F.S		±2.0％ F.S	±1.0％ F.S
再現性^*2	±0.2％ F.S
耐圧	3.4MPa(G)
外部リーク	5×10^-10Pa･m³/sec He
使用可能温度範囲	0～50℃
設定／出力信号	標準：0～5VDC、1～5VDC、0～10VDC、4～20mA、0～20mA、RS232 変更可オプション：RS485、DeviceNet、Modbus RTU(RS232、RS485)、Profibus DP(RS232)、Fieldbus(RS232)
温度影響	±0.05％／℃ F.S
圧力影響	±0.0015％／kPa F.S
接ガス部材質	SUS316L、バイトン^3 or ネオプレン^3 or カルレッツ^3 or ポリアミド^{3 *4} 選択
シール部材質	バイトン^3 or ネオプレン^3 選択
駆動電源（MFC）	24VDC±10％ 500mA	24VDC±10％ 800mA	24VDC±10％ 1260mA
駆動電源（MFM）	15～24VDC ±10％ 30mA	15～24VDC±10％ 230mA
接続継手	1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど

型式:マスフローコントローラ	C100L-HP	C140	C101	C50L	C50M
型式:マスフローメータ	-	-	M101	M50L	-
流量レンジ	10SCCM～20SLPM	10SCCM～200SLPM	4SCCM	20SCCM～50SLPM	50～200SLPM
バルブタイプ	NC：ノーマルクローズ
アクチュエータ方式	ソレノイドバルブ（メーターの場合は対象外）
制御流量範囲	2～100％ F.S
応答性^*1	2sec（設定値の±2％以内）
流量精度^*2	±1.0％ F.S
再現性^*2	±0.2％ F.S			±0.25％ F.S
耐圧	10.3MPa(G)	3.4MPa(G)		1MPa(G)
外部リーク	5×10^-10Pa･m³/sec He
使用可能温度	0～50℃
設定／出力信号	標準：0～5VDC、1～5VDC、0～10VDC、4～20mA、0～20mA、RS232 変更可オプション：RS485、DeviceNet、Modbus RTU(RS232、RS485) Profibus DP(RS232)、Fieldbus(RS232)			RS232 or 0～5VDC+RS232 or 4～20mA+ RS232 or RS485選択
温度影響	±0.05％／℃ F.S
圧力影響	±0.0015％／kPa F.S
接ガス部材質	SUS316L、バイトン^3 or ネオプレン^3 or カルレッツ^3 or ポリアミド^{3 *4} 選択			SUS316L or アルミ選択、バイトン^*3
シール部材質	バイトン^3 or ネオプレン^3 選択			バイトン^*3
駆動電源（MFC）	24VDC±10％ 800mA		24VDC±10％ 400mA	24VDC±10％ 315mA RS485：130mA	24VDC±10％ 850mA RS485：130mA
駆動電源（MFM）	-		15～24VDC ±10％ 130mA	15～24VDC ±10％ 85mA	-
接続継手	1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど

※1 調整可能です。詳しくはお問い合わせ下さい。
※2 NIST（アメリカ国立標準技術研究所）トレーサビリティー。
※3 または同等品の場合があります。
※4 C100L-HPのみ

製品カタログ

■外形寸法は、下記カタログをダウンロードの上、ご参照頂きますようお願い致します。

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