マスフローコントローラー・マスフローメーター・流量制御・流量計測/エフコン株式会社[FCON]

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パイロットモジュールマスフローコントローラー

newSmartTrakシリーズ

SIERRA
SmartTrak
パイロットモジュールマスフローコントローラー[SmartTrakシリーズ]の特長

●フルスケール流量・測定ガス・出力/設定信号などをパイロットモジュールで簡単操作。
●マルチガスマルチレンジ。10種類の測定ガスがインプットされており、パイロットモジュールで簡単に変更が可能。
●流量レンジ4SCCMから1000SLPMをラインナップ。
●4種類のデジタル通信プロトコルより選択可能。アナログ入出力は、0~5Vや4~20mAなど自在に切り替えが可能。
●SmartTrak50シリーズは、100シリーズをベースにコストパフォーマンスを追求したローコストモデル。
●分析、燃料電池、液晶、有機EL、バイオ、培養、食品、環境計測、燃焼ガス制御、工場設備、実験設備など幅広い分野でご使用頂けます。

仕様
型式:マスフローコントローラ C100L C100M C100M1 C100H C100H1 C100H2
型式:マスフローメータ M100L M100M M100M1 M100H M100H1 M100H2
流量レンジ 10SCCM~50SLPM 20~200SLPM 201~300SLPM 100~500SLPM 501~800SLPM 801~1000SLPM
バルブタイプ NC:ノーマルクローズ
アクチュエータ方式 ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外)
制御流量範囲 2~100% F.S
応答性*1 2sec(設定値の±2%以内)
流量精度*2 ±1.0% F.S ±2.0% F.S ±1.0% F.S
再現性*2 ±0.2% F.S
耐圧 3.4MPa(G)
外部リーク 5×10-10Pa・m3/sec He
使用可能温度範囲 0~50℃
設定/出力信号 標準:0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC、4~20mA、0~20mA、RS232 変更可
オプション:RS485、DeviceNet、Modbus RTU(RS232、RS485)、Profibus DP(RS232)、Fieldbus(RS232)
温度影響 ±0.05%/℃ F.S
圧力影響 ±0.0015%/kPa F.S
接ガス部材質 SUS316L、バイトン*3 or ネオプレン*3 or カルレッツ*3 or ポリアミド*3 *4 選択
シール部材質 バイトン*3 or ネオプレン*3 選択
駆動電源(MFC) 24VDC±10% 500mA 24VDC±10% 800mA 24VDC±10% 1260mA
駆動電源(MFM) 15~24VDC
±10% 30mA
15~24VDC±10% 230mA
接続継手 1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど

型式:マスフローコントローラ C100L-HP C140 C101 C50L C50M
型式:マスフローメータ - - M101 M50L -
流量レンジ 10SCCM~20SLPM 10SCCM~200SLPM 4SCCM 20SCCM~50SLPM 50~200SLPM
バルブタイプ NC:ノーマルクローズ
アクチュエータ方式 ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外)
制御流量範囲 2~100% F.S
応答性*1 2sec(設定値の±2%以内)
流量精度*2 ±1.0% F.S
再現性*2 ±0.2% F.S ±0.25% F.S
耐圧 10.3MPa(G) 3.4MPa(G) 1MPa(G)
外部リーク 5×10-10Pa・m3/sec He
使用可能温度 0~50℃
設定/出力信号 標準:0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC、4~20mA、0~20mA、RS232 変更可
オプション:RS485、DeviceNet、Modbus RTU(RS232、RS485)
Profibus DP(RS232)、Fieldbus(RS232)
RS232 or 0~5VDC+RS232 or 4~20mA+
RS232 or RS485選択
温度影響 ±0.05%/℃ F.S
圧力影響 ±0.0015%/kPa F.S
接ガス部材質 SUS316L、バイトン*3 or ネオプレン*3 or カルレッツ*3 or ポリアミド*3 *4 選択 SUS316L or アルミ選択、バイトン*3
シール部材質 バイトン*3 or ネオプレン*3 選択 バイトン*3
駆動電源(MFC) 24VDC±10% 800mA 24VDC±10% 400mA 24VDC±10% 315mA
RS485:130mA
24VDC±10% 850mA
RS485:130mA
駆動電源(MFM) - 15~24VDC
±10% 130mA
15~24VDC
±10% 85mA
-
接続継手 1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど

※1 調整可能です。詳しくはお問い合わせ下さい。
※2 NIST(アメリカ国立標準技術研究所)トレーサビリティー。
※3 または同等品の場合があります。
※4 C100L-HPのみ
製品カタログ
■外形寸法は、下記カタログをダウンロードの上、ご参照頂きますようお願い致します。
SIERRA_catalog
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