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防水・防塵マスフローコントローラー

newMaxTrakシリーズ

SIERRA
MaxTrak
防水・防塵マスフローコントローラー[MaxTrakシリーズ]の特長

●丸洗いが可能な防水仕様。防水・防塵仕様のマスフローコントローラーです。
●SmartTrak100シリーズを防水・防塵仕様に変更したモデルです。
●オプションでフランジ継手に変更可能です。
●流量レンジ10SCCMから1000SLPMをラインナップ。
●2種類のデジタル通信プロトコルより選択可能。アナログ入出力は、0~5Vや4~20mAなど自在に切り替えが可能。
●分析、燃料電池、液晶、有機EL、バイオ、培養、食品、環境計測、燃焼ガス制御、工場設備、実験設備など幅広い分野でご使用頂けます。

仕様
型式:マスフローコントローラ C180M C180M1 C180H C180H1 C180H2
型式:マスフローメータ M180M M180M1 M180H M180H1 M180H2
流量レンジ 10SCCM~200SLPM 201~300SLPM 100~500SLPM 501~800SLPM 801~1000SLPM
バルブタイプ NC:ノーマルクローズ
アクチュエータ方式 ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外)
制御流量範囲 2~100% F.S
応答性*1 2sec(設定値の±2%以内)
流量精度*2 ±1.0% F.S ±2.0% F.S ±1.0% F.S
再現性*2 ±0.2% F.S
耐圧 3.4MPa(G)
外部リーク 5×10-10Pa・m3/sec He
使用可能温度範囲 0~50℃
設定/出力信号 標準:0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC、4~20mA、RS232 変更可
オプション:RS485、Modbus RTU(RS232、RS485)
温度影響 ±0.05%/℃ F.S
圧力影響 ±0.0015%/kPa F.S
接ガス部材質 SUS316L、バイトン*3 or ネオプレン*3 or カルレッツ*3選択
シール部材質 バイトン*3 or ネオプレン*3 or カルレッツ*3選択
駆動電源(MFC) 24VDC±10% 700mA 24VDC±10% 1260mA
駆動電源(MFM) 15~24VDC±10% 130mA
接続継手 1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど

※1 調整可能です。詳しくはお問い合わせ下さい。
※2 NIST(アメリカ国立標準技術研究所)トレーサビリティー。
※3 または同等品の場合があります。
製品カタログ
■外形寸法は、下記カタログをダウンロードの上、ご参照頂きますようお願い致します。
SIERRA_catalog
防水防塵マスフローコントローラー[MaxTrakシリーズ]のカタログ(PDFデーター)がダウンロード出来ます。
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