マスフローコントローラー・FCST2000シリーズ・デジタル／エフコン株式会社[FCON]
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デジタルマスフローコントローラー／ピエゾ
FCST2000シリーズ
デジタルマスフローコントローラーFCST2000シリーズの特長
●高性能：流量精度±1％S.Pを実現、半導体やフラットパネルディスプレイ、ソーラーパネルなどの高精度な流量計測・制御に最適。
フジキンWシールIGSへの搭載時には更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現します。
●高性能センサー：低温度流量センサの採用により幅広い安定性と最適構造を実現。
●高信頼性ダイヤフラムバルブ：少ない接ガス面積がパーティクル発生を防止。高速応答ピエゾアクチュエータを採用。
●デジタルインターフェイス標準装備［RS485]：インテリジェンス化されるガス供給ラインに対応、デジタル制御や監視、分析が可能。
●DeviseNetTMインターフェイスに対応（ご指定下さい）。
●RoHS対応：RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品です。
仕様
| 型式:マスフローコントローラ | FCST2005 | FCST2020 | FCST2050 | FCST2150 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 型式:マスフローメータ | FCSTM2005 | FCSTM2020 | FCSTM2050 | - | |
| 流量（N2換算流量） | 5,10,20,30,50,100, 200,300,500SCCM 1,2,3,5SLM |
10,20SLM | 30,50SLM | 100,150SLM | |
| バルブ動作 | NC：ノーマルクローズ、NO：ノーマルオープン | NC：ノーマルクローズ | |||
| 制御流量範囲 | 2～100％ F.S | ||||
| 流量精度 | 2～25％：±0.25％ F.S 25～100％：±1％S.P | ±2％ F.S | |||
| 流量設定信号 | 0.1～5VDC | ||||
| 流量出力信号 | 0～5VDC | ||||
| 再現性 | ±0.2％ F.S | ||||
| 応答時間 | ≦1sec | ||||
| 必要差圧 | 50～300KPa | NO | 50～300KPa(10SLM) | 100～300KPa(30SLM) 150～300KPa(50SLM) |
200～350KPa(100SLM) 250～350KPa(150SLM) |
| 100～300KPa (20SLM) | |||||
| NC | 100～300KPa(10SLM) | ||||
| 200～300KPa (20SLM) | |||||
| 最大動作圧力 | 300KPa(G) | 350KPa(G) | |||
| 耐圧力 | 1MPa(G) | ||||
| 使用保証温度範囲 | 5～50℃ | ||||
| 外部リーク | 1×10-11Pa･m3/sec He | ||||
| 取付姿勢 | 指定なし（自由） | ||||
| 消費電流 | +15VDC：100mA、-15VDC：50mA | +15VDC：100mA -15VDC：200mA |
|||
| 接ガス部材質 | SUS316L，PCTFE | SUS316L，PCTFE，FKM | |||
| シール部材質 | Au | ||||
| アクチュエータ方式 | ピエゾアクチュエータ | ソレノイドアクチュエータ | |||
| 表面処理 | EP処理 | ||||
| 接続継手 | 1.125W-Seal、1.5W-Seal、1/4インチUJR | 3/8インチUJR | |||
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豊富なアプリケーション
デジタル回路で構成されているマスフローコントローラーは、アナログ入出力の他にデジタル通信（RS-485）機能がありますので、各種アプリケーションは監視、健全性管理、トラブル解析、在庫削減に効果を発揮します。詳細につきましては、お問い合わせ下さい。
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外形寸法
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製品カタログ
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