マスフローコントローラー・FCST1000MF-HTシリーズ・高温用・デジタル／エフコン株式会社[FCON]
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デジタルマスフローコントローラー／高温用モデル
FCST1000MF-HTシリーズ
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特長
●高温用モデル：Max80℃の高温用デジタルマスフローコントローラー（80℃以上でご使用の場合は、別途お問い合わせ下さい）。
●半導体、ソーラーパネル、燃料電池、一般産業など幅広い分野でご使用頂けます。
●高速応答［ソレノイドバルブ採用］：1sec以下を実現、流量制御範囲（2～100％）を完全に1sec以内でカバー。
●高精度：±1.0％F.S以内。
●デジタルインターフェイス標準装備［RS485]：インテリジェンス化されるガス供給ラインに対応、デジタル制御や監視、分析が可能。
●DeviseNetTMインターフェイスに対応（ご指定下さい）。
●RoHS対応：RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品です。
仕様
| 型式:マスフローコントローラ | FCST1005MF-HT FCST1005MFD-HT |
FCST1030MF-HT FCST1030MFD-HT |
FCST1050MF-HT FCST1050MFD-HT |
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| 型式:マスフローメータ | FCSTM1005MF-HT FCSTM1005MFD-HT |
FCSTM1030MF-HT FCSTM1030MFD-HT |
FCSTM1050MF-HT FCSTM1050MFD-HT |
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| 流量（N2換算流量） | 10,20,30,50, 100,200,300,500SCCM 1,2,3,5SLM |
10,20,30SLM | 40,50SLM | |
| バルブ動作 | NC：ノーマルクローズ、NO：ノーマルオープン | |||
| 制御流量範囲 | 2～100％ F.S | |||
| 流量精度 | ±1％ F.S（精度保証範囲：50～80℃） | |||
| 流量設定信号 | 0.1～5VDC | |||
| 流量出力信号 | 0～5VDC | |||
| 再現性 | ±0.2％ F.S | |||
| 応答時間 | ≦1sec | |||
| 必要差圧 | 50～300KPa | NO | 50～300kPa(6～10SLM) 100～300kPa(11～20SLM) 150～300kPa(21～30SLM) |
200～300KPa |
| NC | 50～300kPa(6～10SLM) 100～300kPa(11～30SLM) |
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| 最大動作圧力 | 400KPa(G) | |||
| 耐圧力 | 1MPa(G) | |||
| 使用保証温度範囲 | 50～80℃ | |||
| 外部リーク | 1×10-11Pa･m3/sec He | |||
| 取付姿勢 | 指定なし（自由） | |||
| 供給電源電圧、消費電流 | +15VDC：50mA、-15VDC：200mA DeviceNet：+11～24VDC、5.5VA(5.5W) |
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| 通信方式 | アナログ：0～5VDC／デジタル：RS485（フジキンプロトコル）、DeviceNet | |||
| 接ガス部材質 | SUS316、磁性ステンレス、PTFE | |||
| シール部材質 | SUS316L | |||
| アクチュエータ方式 | ソレノイドアクチュエータ | |||
| 表面処理 | EP処理オプション | |||
| 接続継手 | 1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal、1.125W-Seal、1.125C-Seal | |||
| デジタル通信 | RS485、標準通信速度38400bps、最大接続台数127台 | |||
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豊富なアプリケーション
デジタル回路で構成されているマスフローコントローラーは、アナログ入出力の他にデジタル通信（RS-485）機能がありますので、各種アプリケーションは監視、健全性管理、トラブル解析、在庫削減に効果を発揮します。詳細につきましては、お問い合わせ下さい。
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品番表示／外形寸法
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製品カタログ
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高温用デジタルマスフローコントローラー［FCST1000MF-HTシリーズ］のカタログ（PDFデーター）がダウンロード出来ます。 |
