マスフローコントローラー・マスフローメーター・流量制御・流量計測/エフコン株式会社[FCON]

低価格マスフローコントローラー

1000シリーズ

FCON
FCST1000シリーズ
特長

new1030/1050(F.S.30/50SLM)をガス種限定にて新たに追加しました。
● C1020/M1020(F.S.10/20SLM)を新たに追加しました。
●マスフローコントローラーの基本機能に特化した低価格モデル。
●基本性能を追求した独自技術により、コストを抑え、製品の性能と信頼性を高めています。
●据置型専用電源【PA01】に加え、パネルマウント型専用電源【PA01P】もご用意しました。
●コンパクトサイズ
●スタート時のフローサージ現象(オーバーシュート)を抑制(30秒以上のインターバルが必要)
●入出力:アナログ(0~5VDC)
●医薬・培養・バイオ・農業・溶接・蒸着コーティング・分析・各種研究や実験など幅広い分野でご使用頂けます。

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製品カタログ

C1005・1020/M1005・1020
(F.S.10SCCM~20SLM)

1000シリーズカタログ
1000シリーズ取扱説明書
1000シリーズのカタログ及び取扱説明書が
ダウンロードできます。
C1030・1050/M1030・1050
(F.S.30~50SLM)
1000シリーズカタログ
仕様
型式:マスフローコントローラー C1005 C1020 NEW C1030/C1050
型式:マスフローメーター M1005 M1020 NEW M1030/M1050
流量(N2換算流量) 10,20,30,50,100,200,300,500SCCM
1,2,3,5SLM
10,20SLM 30,50SLM
対応ガス種 気体(腐食性ガスはご相談下さい) Air・N2・Ar・H2・CO2・O2・He
バルブタイプ NO:ノーマルオープン(メーターの場合は対象外)
制御流量範囲 5~100% F.S(メーターの場合は対象外)
流量精度 ±2% F.S(精度保証範囲15~35℃)
流量設定信号 0.25~5VDC(メーターの場合は対象外)
流量出力信号 0~5VDC
再現性 ±0.2% F.S
応答時間 6sec
必要差圧 50~300KPa 200~300KPa
耐圧力 1MPa(G)
使用保証温度 5~50℃、85%RH以下
外部リーク 1×10-7Pa・m3/sec He
取付姿勢 指定なし(自由)
供給電源電圧、消費電流 +15VDC:60mA、-15VDC:150mA
通信方式 アナログ:0~5VDC
接ガス部材質 SUS316L、PTFE、フッ素ゴム
シール部材質 フッ素ゴム
アクチュエータ方式 サーマル(メーターの場合は対象外)
表面処理 機械加工仕上げ
接続継手 1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。

外形寸法
1000シリーズ
品番表示
1000シリーズ
 
パネルマウント型制御電源[PA01PS]・据置型制御電源[PA01S]/製品カタログ
■ご使用状況に応じて下記の2種類からお選び頂けます■
【PA01PS(パネルマウント型)】
【PA01S(据置型)】
PA01P
PA01
■スケーリング表示(F.S.流量に設定)
[PA01PS]のカタログ及び取扱説明書がダウンロードできます。
[PA01S]のカタログ及び取扱説明書がダウンロードできます。
PA01P/PA01カタログ
PA01P取扱説明書
PA01P/PA01カタログ
PA01取扱説明書
各種変換ケーブルの制作が可能です(他社製品からの置換え)。
他社のマスフローコントローラーから当社製品に置き換えてご使用頂く際、現在、ご使用中の制御電源はそのまま使用したい場合は、変換ケーブルの制作が可能です。
ただし、カードエッジタイプのコネクターなど、変換ケーブルの制作が出来ない場合もございますので、その際は、ご使用中の電源と当社マスフローコントローラーを接続する信号ケーブルの新規制作が可能ですので、詳細に関しましては、お気軽にお問い合わせ下さい。
ConversionCable
例:丸型コネクターからD-sub9ピンへの変換ケーブル(長さ:約180mm)
右記写真
お問い合わせ